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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BB00035643>
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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BB00035643>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.7||O 002729267 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.7||O
資料ID 002729267
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1995.12
形態事項 xi, 366p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036153
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB00193604> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ・ ブッセイ ・ デバイス ; 15//aa
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラ クリーン ULSI ギジュツ
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN13643698
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘(1939-)
オオミ, タダヒロ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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