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	シリコン : 結晶成長とウエーハ加工阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB00035541> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる目次・あらすじを見る詳細情報を見る書誌URL：

シリコン : 結晶成長とウエーハ加工阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB00035541> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる目次・あらすじを見る詳細情報を見る書誌URL：

所蔵一覧 1件～3件（全3件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約
0001		図書館	2階	549.8\|\|A	001456326	書架		0件
0002		図書館	2階	549.8\|\|A	002722783	書架		0件
0003		図書館	書庫5層	549.8\|\|A	002299097	書架		0件


No.	0001
巻号
所蔵館	図書館
配置場所	2階
請求記号	549.8\|\|A
資料ID	001456326
状態	書架
返却予定日
予約	0件

No.	0002
巻号
所蔵館	図書館
配置場所	2階
請求記号	549.8\|\|A
資料ID	002722783
状態	書架
返却予定日
予約	0件

No.	0003
巻号
所蔵館	図書館
配置場所	書庫5層
請求記号	549.8\|\|A
資料ID	002299097
状態	書架
返却予定日
予約	0件

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目次・あらすじ

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書誌詳細

標題および責任表示

シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
シリコン : ケッショウセイチョウトウエーハカコウ

出版・頒布事項

東京 : 培風館 , 1994.5

形態事項

xii, 361p ; 22cm

巻号情報

ISBN	4563036056

書誌構造リンク

アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンストエレクトロニクスシリーズ <BB00193604> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクスザイリョウブッセイデバイス ; 5//aa

注記

各章末: 参考文献

学情ID

BN10742751

本文言語コード

日本語

著者標目リンク

阿部, 孝夫||アベ, タカオ <AU00081956>

分類標目

電子工学 NDC8:549.8

件名標目等

結晶成長||ケッショウセイチョウ

件名標目等

電子部品||デンシブヒン

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