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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00141107>
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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00141107>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.7||K 002980266 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.7||K
資料ID 002980266
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.6
形態事項 iv, 4, 143, 2p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526033383
学情ID BN09282610
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 稔(1932-)
コバヤシ, ミノル <>
著者標目リンク 中島, 蕃
ナカジマ, シゲル <>
著者標目リンク 垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00021367>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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