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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00033686>
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB00033686>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549||K 001430776 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549||K
資料ID 001430776
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
学情ID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋 (1925-)||コバヤシ, ハルヒロ <AU00016309>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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