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半導体ドライエッチング技術

徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00033272>
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半導体ドライエッチング技術

徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00033272>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||T 001431105 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||T
資料ID 001431105
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1992.10
形態事項 xiii, 394p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856288
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00180025>//a
注記 監修:菅野卓雄
学情ID BN08137616
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 徳山, 巍 (1929-)||トクヤマ, タカシ <AU00090966>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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