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超微細加工入門

古川静二郎, 浅野種正共著. -- オーム社, 1989. <BB00028591>
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超微細加工入門

古川静二郎, 浅野種正共著. -- オーム社, 1989. <BB00028591>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.7||F 001353986 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.7||F
資料ID 001353986
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工入門 / 古川静二郎, 浅野種正共著
チョウビサイ カコウ ニュウモン
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 1989.6
形態事項 viii, 219p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4274032477
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN03592433
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU00062801>
著者標目リンク 浅野, 種正(1953-)||アサノ, タネマサ <AU00049926>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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