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イオン注入技術

難波進編著. -- 工業調査会, 1975. -- (エレクトロニクス技術全書 ; 8). <BB00141876>
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イオン注入技術

難波進編著. -- 工業調査会, 1975. -- (エレクトロニクス技術全書 ; 8). <BB00141876>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.8||N 000636043 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||N
資料ID 000636043
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 イオン注入技術 / 難波進編著
イオン チュウニュウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1975
形態事項 5, 194p ; 21cm
書誌構造リンク エレクトロニクス技術全書||エレクトロニクス ギジュツ ゼンショ <> 8//a
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN03431514
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 難波, 進(1928-)||ナンバ, ススム <AU00031592>
分類標目 NDC7:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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