愛知工業大学附属図書館

真空蒸着

ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳. -- アグネ, 1977. <BB00068679>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.8||S 000803783 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||S
資料ID 000803783
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
シンクウ ジョウチャク
出版・頒布事項 東京 : アグネ , 1977.5
形態事項 144p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4750704091
その他の標題 原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
注記 文献:p139~144
学情ID BN02783006
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Schiller, Siegfried, 1933- <AU00032649>
著者標目リンク Heisig, Ullrich, 1933- <AU00032650>
著者標目リンク 日本真空技術株式会社
ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ <>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 薄膜||ハクマク