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SOI構造形成技術

古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00129240>
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SOI構造形成技術

古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00129240>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.7||F 001292762 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.7||F
資料ID 001292762
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1987.10
形態事項 281p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856253
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00180025>//a
学情ID BN01517109
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU00062801>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
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