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微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <BB00062179>
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微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <BB00062179>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫5層 549.8||H 000760595 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||H
資料ID 000760595
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 / 半導体研究振興会編
ビサイ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1977.12
形態事項 9, 376p ; 27cm
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00043357> 14 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 1//b
学情ID BN00697901
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体研究振興会||ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ <AU00008711>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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