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愛知工業大学附属図書館
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プロセスの低温化
西澤潤一編. -- 工業調査会, 1985. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術 ; 8). <BB00022224>
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プロセスの低温化
西澤潤一編. -- 工業調査会, 1985. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術 ; 8). <BB00022224>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
書庫5層
549.8||H
001192285
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
書庫5層
請求記号
549.8||H
資料ID
001192285
状態
書架
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
プロセスの低温化 / 西澤潤一編
プロセス ノ テイオンカ
出版・頒布事項
東京 : 工業調査会 , 1985.3
形態事項
10,331p ; 27cm
巻号情報
ISBN
4769310439
書誌構造リンク
半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00043357> 21巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 8//bb
注記
執筆:石川潔ほか
注記
各章末:参考文献
学情ID
BN00282757
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
西澤, 潤一(1926-2018)||ニシザワ, ジュンイチ <AU00001397>
分類標目
電子工学 NDC8:549
分類標目
科学技術 NDLC:ND371
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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