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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB00024464>
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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB00024464>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 書庫3層 431.7||K 001262898 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫3層
請求記号 431.7||K
資料ID 001262898
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項 iv,202,iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526020656
注記 各章末:文献
学情ID BN00233219
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小沼, 光晴(1950-)
コヌマ, ミツハル <>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 NDC7:427.5
件名標目等 プラズマ||プラズマ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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