愛知工業大学附属図書館

半導体プロセス

西澤潤一編 ; [その1], その2, その3. -- 工業調査会, 1979. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 16巻 ; 19巻 ; 22巻 . 超LSI技術 ; 3 ; 6 ; 9). <BB00000199>
書誌URL:

所蔵一覧 1件~3件(全3件)

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 [その1] 図書館 書庫5層 549.8||H 001163294 書架 0件
0002 その2 図書館 書庫5層 549.8||H 001094218 書架 0件
0003 その3 図書館 書庫5層 549.8||H 001191998 書架 0件
No. 0001
巻号 [その1]
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||H
資料ID 001163294
状態 書架
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号 その2
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||H
資料ID 001094218
状態 書架
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号 その3
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||H
資料ID 001191998
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス / 西澤潤一編
ハンドウタイ プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8
形態事項 3冊 ; 27cm
巻号情報
巻次等 [その1]
巻号情報
巻次等 その2
ISBN 4769310250
巻号情報
巻次等 その3
ISBN 4769310463
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00043357> 16巻 ; 19巻 ; 22巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 3 ; 6 ; 9//bb
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN00178154
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-2018)||ニシザワ, ジュンイチ <AU00001397>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ