愛知工業大学附属図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

愛知工業大学附属図書館

検索結果一覧へ戻る

超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB00245185>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB00245185>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.1||E 004505350 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.1||E
資料ID 004505350
状態 書架
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して / 江刺正喜 [ほか] 著
チョウヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
出版・頒布事項 仙台 : 東北大学出版会 , 2018.6
形態事項 vii, 228p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784861632969
その他の標題 その他のタイトル:Development of massive parallel electron beam write system : aiming at digital fabrication of integrated circuits
その他の標題 異なりアクセスタイトル:超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
チョウ ヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
注記 その他のタイトルは標題紙裏による
注記 その他の著者: 宮口裕, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 菅田正徳, 大井英之
注記 関係発表文献一覧: p217-223
注記 参考文献: 各章末
学情ID BB26418124
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 江刺, 正喜 (1949-)||エサシ, マサヨシ <AU00011137>
著者標目リンク 宮口, 裕
ミヤグチ, ヒロシ <>
著者標目リンク 小島, 明
コジマ, アキラ <>
著者標目リンク 池上, 尚克
イケガミ, ナオカツ <>
著者標目リンク 越田, 信義||コシダ, ノブヨシ <AU00083920>
著者標目リンク 菅田, 正徳
スガタ, マサノリ <>
著者標目リンク 大井, 英之
オオイ, ヒデユキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 電子工学 NDC10:549.1
件名標目等 電子線||デンシセン
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)