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愛知工業大学附属図書館
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これからのMEMS : LSIとの融合
江刺正喜, 小野崇人共著. -- 森北出版, 2016. <BB00238247>
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これからのMEMS : LSIとの融合
江刺正喜, 小野崇人共著. -- 森北出版, 2016. <BB00238247>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
2階
530||E
004354486
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
2階
請求記号
530||E
資料ID
004354486
状態
書架
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
これからのMEMS : LSIとの融合 / 江刺正喜, 小野崇人共著
コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ
出版・頒布事項
東京 : 森北出版 , 2016.6
形態事項
v, 151p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN
9784627775510
その他の標題
異なりアクセスタイトル:これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
コレカラ ノ MEMS : micro electro mechanical systems : LSI トノ ユウゴウ
注記
タイトルは奥付による
注記
参考文献: p136-147
学情ID
BB21515702
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
*江刺, 正喜 (1949-)||エサシ, マサヨシ <AU00011137>
著者標目リンク
小野, 崇人||オノ, タカヒト(1967-) <AU00070407>
分類標目
機械工学.原子力工学 NDC8:530
分類標目
機械工学 NDC9:530
件名標目等
マイクロマシン||マイクロマシン
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*江刺, 正喜 (1949-)
小野, 崇人
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