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半導体・MEMSのための超臨界流体

近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB00202545>
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半導体・MEMSのための超臨界流体

近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB00202545>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||K 004023297 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||K
資料ID 004023297
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
出版・頒布事項 東京 : コロナ社 , 2012.9
形態事項 vii, 227p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784339008371
その他の標題 奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記 その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
注記 引用・参考文献: p[212]-222
学情ID BB10243699
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 近藤, 英一||コンドウ, エイイチ <AU00019337>
著者標目リンク 上野, 和良||ウエノ, カズヨシ <AU00020281>
著者標目リンク 内田, 寛
ウチダ, ヒロシ <>
著者標目リンク 曽根, 正人||ソネ, マサト <AU00058895>
著者標目リンク 生津, 英夫
ナマツ, ヒデオ <>
著者標目リンク 服部, 毅
ハットリ, タケシ <>
著者標目リンク 堀, 照夫
ホリ, テルオ <>
著者標目リンク 森口, 誠
モリグチ, マコト <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 物理化学．理論化学 NDC9:431.8
分類標目 物理化学．理論化学 NDC9:431.3
分類標目 科学技術 NDLC:PA51
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン
件名標目等 超臨界流体||チョウリンカイリュウタイ
件名標目等 マイクロエレクトロニクス||マイクロエレクトロニクス
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