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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB00200242>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB00200242>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.7||H 003958089 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.7||H
資料ID 003958089
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 技術評論社 , 2012.1
形態事項 x, 301p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784774149394
書誌構造リンク 現場の即戦力||ゲンバ ノ ソクセンリョク <BB00172880>//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ : ハジメテ ノ
注記 工業調査会 2003年刊の改訂
注記 参考文献: 各章末
学情ID BB07670705
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00053706>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00053707>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00053581>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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