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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- シーエムシー出版, 2009. <BB00208534>
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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- シーエムシー出版, 2009. <BB00208534>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||S 004015426 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||S
資料ID 004015426
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2009.10
形態事項 ix, 301p ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784781301679
その他の標題 その他のタイトル:新材料・新素材シリーズ
シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
その他の標題 標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノ デバイス ノ エッチング ギジュツ
注記 カバージャケットに「新材料・新素材シリーズ」の表示あり
学情ID BB00938446
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 式田, 光宏(1964-)||シキダ, ミツヒロ <AU00055947>
著者標目リンク 佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00058550>
著者標目リンク 田中, 浩
タナカ, ヒロシ <>
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 表面(工学)||ヒョウメン(コウガク)
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