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実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

齋藤文良, 多賀康訓編. -- 技術教育出版, 2009. <BB00186469>
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実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

齋藤文良, 多賀康訓編. -- 技術教育出版, 2009. <BB00186469>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||S 003791522 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||S
資料ID 003791522
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開 / 齋藤文良, 多賀康訓編
ジツヨウ ハクマク プロセス : キノウ ソウセイ・オウヨウ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 技術教育出版
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス (発売) , 2009.8
形態事項 viii, 416p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784907837181
その他の標題 異なりアクセスタイトル:実用薄膜プロセス : 機能創製応用展開
ジツヨウ ハクマク プロセス : キノウ ソウセイ オウヨウ テンカイ
注記 文献: 各章末
学情ID BA91056919
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 齋藤, 文良||サイトウ, フミオ <AU00036673>
著者標目リンク 多賀, 康訓||タガ, ヤスノリ <AU00036672>
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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