愛知工業大学附属図書館

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶, 徳田豊 [著]. -- リアライズ・アドバンストテクノロジ, 2006. -- (Basic selection). <BB00254418>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||U 004576963 貸出中 2024/10/15 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||U
資料ID 004576963
状態 貸出中
返却予定日 2024/10/15
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として / 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
出版・頒布事項 東京 : リアライズ・アドバンストテクノロジ , c2006
形態事項 628p ; 30cm
巻号情報
ISBN 9784898080528
書誌構造リンク Basic selection <BB00203088>//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフ タイム ディーエルティーエス ヒョウカ オ チュウシン ト シテ
注記 1990年2月刊の複製
注記 背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
注記 参考文献あり
学情ID BA87878710
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 宇佐美, 晶||ウサミ, アキラ <AU00084720>
著者標目リンク 徳田, 豊||トクダ, ユタカ <AU00042818>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ