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半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として
宇佐美晶, 徳田豊 [著]. -- リアライズ・アドバンストテクノロジ, 2006. -- (Basic selection). <BB00254418>
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半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として
宇佐美晶, 徳田豊 [著]. -- リアライズ・アドバンストテクノロジ, 2006. -- (Basic selection). <BB00254418>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
2階
549.8||U
004576963
貸出中
2024/10/15
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
2階
請求記号
549.8||U
資料ID
004576963
状態
貸出中
返却予定日
2024/10/15
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として / 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
出版・頒布事項
東京 : リアライズ・アドバンストテクノロジ , c2006
形態事項
628p ; 30cm
巻号情報
ISBN
9784898080528
書誌構造リンク
Basic selection <BB00203088>//a
その他の標題
異なりアクセスタイトル:半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフ タイム ディーエルティーエス ヒョウカ オ チュウシン ト シテ
注記
1990年2月刊の複製
注記
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
注記
参考文献あり
学情ID
BA87878710
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
宇佐美, 晶||ウサミ, アキラ <AU00084720>
著者標目リンク
徳田, 豊||トクダ, ユタカ <AU00042818>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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