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愛知工業大学附属図書館

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	ナノテクノロジーとレジスト材料山岡亞夫監修. -- シーエムシー出版, 2007. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 256). <BB00116984> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる詳細情報を見る書誌URL：

ナノテクノロジーとレジスト材料山岡亞夫監修. -- シーエムシー出版, 2007. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 256). <BB00116984> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる詳細情報を見る書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約
0001		図書館	2階	549.7\|\|N	003535903	書架		0件


No.	0001
巻号
所蔵館	図書館
配置場所	2階
請求記号	549.7\|\|N
資料ID	003535903
状態	書架
返却予定日
予約	0件

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目次・あらすじ

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書誌詳細

標題および責任表示

ナノテクノロジーとレジスト材料 / 山岡亞夫監修
ナノテクノロジートレジストザイリョウ

出版・頒布事項

東京 : シーエムシー出版 , 2007.4

形態事項

vi, 253p ; 21cm

巻号情報

ISBN	9784882319214

書誌構造リンク

CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカルライブラリー <BB00156350> 256//a

その他の標題

その他のタイトル:新しいレジスト材料とナノテクノロジー
アタラシイレジストザイリョウトナノテクノロジー

その他の標題

標題紙タイトル:Nano technology and polymer resist

注記

初版 (2002年) のタイトル: 新しいレジスト材料とナノテクノロジー

学情ID

BA81772932

本文言語コード

日本語

著者標目リンク

山岡, 亜夫(1939-)||ヤマオカ, ツグオ <AU00019013>

分類標目

電子工学 NDC8:549.7

分類標目

電子工学 NDC9:549.7

件名標目等

リソグラフィー||リソグラフィー

件名標目等

ナノテクノロジー||ナノテクノロジー

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