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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB00152060>
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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB00152060>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.1||D 003401387 書架 0件
0002 図書館 2階 549.1||D 003421120 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.1||D
資料ID 003401387
状態 書架
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.1||D
資料ID 003421120
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2005.10
形態事項 xi, 279p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4274201236
注記 文献:章末
学情ID BA73952112
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電気学会||デンキ ガッカイ <AU00000110>
著者標目リンク 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会
デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム加工||イオンビームカコウ
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
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