愛知工業大学附属図書館

薄膜作成の基礎

麻蒔立男著. -- 第4版. -- 日刊工業新聞社, 2005. <BB00109113>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||A 003418779 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||A
資料ID 003418779
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 薄膜作成の基礎 / 麻蒔立男著
ハクマク サクセイ ノ キソ
版事項 第4版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2005.7
形態事項 xiii, 352p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526055034
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA72997104
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男 (1934-)||アサマキ, タツオ <AU00042381>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ