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An introduction to surface-micromachining

by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran ; : alk. paper, : e-book. -- Kluwer Academic Publishers, 2004. <BB00207665>
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An introduction to surface-micromachining

by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran ; : alk. paper, : e-book. -- Kluwer Academic Publishers, 2004. <BB00207665>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 : alk. paper 図書館 電動集密洋書 566.7||J 003973443 書架 0件
No. 0001
巻号 : alk. paper
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 566.7||J
資料ID 003973443
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 An introduction to surface-micromachining / by Robert W. Johnstone, M. Parameswaran
出版・頒布事項 Boston : Kluwer Academic Publishers , 2004
形態事項 x, 186 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
巻次等 : alk. paper
ISBN 1402080204
巻号情報
巻次等 : e-book
ISBN 1402080212
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA70447882
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Johnstone, Robert W. <>
著者標目リンク Parameswaran, M. <>
分類標目 LCC:TJ1191.5
分類標目 DC22:671.3/5
件名標目等 Micromachining
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