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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00147184>
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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00147184>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||E 003157443 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||E
資料ID 003157443
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコンマイクロ加工の基礎 / M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳
シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京 , 2001.12
形態事項 xi, 431p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4431709347
その他の標題 原タイトル:Silicon micromachining
注記 “Silicon micromachining"の翻訳
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA54870462
本文言語コード 日本語
著者標目リンク *Elwenspoek, M. (Miko), 1948- <>
著者標目リンク Jansen, H. V. (Henri V.) <>
著者標目リンク 田畑, 修
タバタ, オサム <>
著者標目リンク 佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00058550>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
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