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超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術

麻蒔立男著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2001. <BB00086314>
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超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術

麻蒔立男著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2001. <BB00086314>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||A 003132255 貸出中 2024/10/23 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||A
資料ID 003132255
状態 貸出中
返却予定日 2024/10/23
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2001.9
形態事項 x, 295p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526048127
学情ID BA53699368
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男 (1934-)||アサマキ, タツオ <AU00042381>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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