愛知工業大学附属図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

愛知工業大学附属図書館

検索結果一覧へ戻る

詳説半導体CMP技術

土肥俊郎編著. -- 工業調査会, 2001. <BB00139788>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

詳説半導体CMP技術

土肥俊郎編著. -- 工業調査会, 2001. <BB00139788>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.7||D 003096633 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.7||D
資料ID 003096633
状態 書架
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 詳説半導体CMP技術 / 土肥俊郎編著
ショウセツ ハンドウタイ CMP ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2001.1
形態事項 362p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769311907
その他の標題 標題紙タイトル:Details of semiconductor CMP technology
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体CMP技術 : 詳説
ハンドウタイ CMP ギジュツ : ショウセツ
学情ID BA50105150
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 土肥, 俊郎
ドイ, トシロウ <>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)