愛知工業大学附属図書館

半導体プロセス材料実務便覧

原徹, 柏木正弘編集. -- サイエンスフォーラム, 1983. <BB00020063>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階大型本 549.8||H 001319912 館内利用のみ 0件
0002 図書館 書庫5層 549.8||H 001144468 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階大型本
請求記号 549.8||H
資料ID 001319912
状態 館内利用のみ
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.8||H
資料ID 001144468
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス材料実務便覧 / 原徹, 柏木正弘編集
ハンドウタイ プロセス ザイリョウ ジツム ベンラン
出版・頒布事項 東京 : サイエンスフォーラム , 1983.4
形態事項 468p ; 31cm
注記 限定版
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA39647433
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 原, 徹||ハラ, トオル <AU00105435>
著者標目リンク 柏木, 正弘||カシワギ, マサヒロ <AU00105436>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ