愛知工業大学附属図書館

半導体プロセス技術

丹呉浩侑編. -- 培風館, 1998. -- (半導体工学シリーズ / 西澤潤一編 ; 9). <BB00137487>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.8||T 002916518 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.8||T
資料ID 002916518
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス技術 / 丹呉浩侑編
ハンドウタイ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1998.11
形態事項 vii, 325p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563032980
書誌構造リンク 半導体工学シリーズ / 西澤潤一編||ハンドウタイ コウガク シリーズ <BB00002844> 9//a
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA38779767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 丹呉, 浩侑
タンゴ, ヒロユキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ