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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00143346>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00143346>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階 549.7||Y 002905636 書架 0件
0002 図書館 書庫5層 549.7||Y 002874816 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階
請求記号 549.7||Y
資料ID 002905636
状態 書架
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 書庫5層
請求記号 549.7||Y
資料ID 002874816
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
書誌構造リンク 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <> 8//a
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
学情ID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一(1957-)
ヨシダ, ヨシカズ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
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