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愛知工業大学附属図書館
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Optical microlithography V : 13-14 March 1986, Santa Clara, California
Harry L. Stover, chairman/editor ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1986. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 633). <BB00005974>
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Optical microlithography V : 13-14 March 1986, Santa Clara, California
Harry L. Stover, chairman/editor ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1986. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 633). <BB00005974>
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100件
No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
保存書庫
425||S
001968783
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
保存書庫
請求記号
425||S
資料ID
001968783
状態
書架
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
Optical microlithography V : 13-14 March 1986, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chairman/editor
出版・頒布事項
Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c1986
形態事項
vi, 309 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等
pbk.
ISBN
0892526688
書誌構造リンク
Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 633//a
その他の標題
異なりアクセスタイトル:Optical microlithography 5
その他の標題
異なりアクセスタイトル:Optical microlithography five
注記
Includes bibliographies and index
学情ID
BA24023412
本文言語コード
英語
著者標目リンク
Stover, Harry L. <>
著者標目リンク
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目
LCC:TR940
分類標目
DC19:621.381/74
件名標目等
Microlithography -- Congresses
件名標目等
Integrated circuits -- Very large scale integration -- Congresses
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