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Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California

Kevin M. Monahan, chairman/editor ; cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester ; pbk.. -- SPIE--International Society for Optical Engineering, 1985. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 565). <BB00006548>
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Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California

Kevin M. Monahan, chairman/editor ; cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester ; pbk.. -- SPIE--International Society for Optical Engineering, 1985. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 565). <BB00006548>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001939412 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001939412
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California / Kevin M. Monahan, chairman/editor ; cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE--International Society for Optical Engineering , 1985
形態事項 vi, 223 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892526009
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 565//a
注記 Includes bibliographies
学情ID BA24008190
本文言語コード 英語
著者標目リンク Monahan, Kevin M. <AU00093213>
著者標目リンク University of Arizona. Optical Sciences Center <AU00084053>
著者標目リンク University of Rochester. Institute of Optics <AU00082141>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Measurement -- Congresses
件名標目等 Integrated circuits -- Testing -- Congresses
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