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Optical microlithography IV : March 13-14, 1985, Santa Clara, California

Harry L. Stover, chairman/editor ; cooperating organization, the International Society for Hybrid Microelectronics ; spine : pbk., pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1985. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 538). <BB00005919>
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Optical microlithography IV : March 13-14, 1985, Santa Clara, California

Harry L. Stover, chairman/editor ; cooperating organization, the International Society for Hybrid Microelectronics ; spine : pbk., pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1985. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 538). <BB00005919>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 1階保存書庫 425||S 001968759 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 1階保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001968759
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Optical microlithography IV : March 13-14, 1985, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chairman/editor ; cooperating organization, the International Society for Hybrid Microelectronics
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c1985
形態事項 vi, 260 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 spine : pbk.
ISBN 0892525738
巻号情報
巻次等 pbk.
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 538//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography 4
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography four
注記 Includes bibliographies
学情ID BA2399852X
本文言語コード 英語
著者標目リンク Stover, Harry L. <>
著者標目リンク International Society for Hybrid Microelectronics <>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TR940
分類標目 DC19:621.381/74
件名標目等 Microlithography -- Congresses
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Congresses
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