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Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California

chairman/editor: Harry L. Stover ; pbk.. -- S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering, 1984. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 470). <BB00005394>
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Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California

chairman/editor: Harry L. Stover ; pbk.. -- S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering, 1984. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 470). <BB00005394>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001968742 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001968742
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California / chairman/editor: Harry L. Stover
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering , c1984
形態事項 vi, 269 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892525053
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 470//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography 3
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography three
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA23981560
本文言語コード 英語
著者標目リンク Stover, Harry L. <>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TR940
分類標目 DC19:621.381/74
件名標目等 Microlithography -- Congresses
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Congresses
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