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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB00062191>
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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB00062191>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549||T 002906584 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549||T
資料ID 002906584
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Electron beam testing technology / edited by John T.L. Thong
出版・頒布事項 New York : Plenum Press , c1993
形態事項 xvi, 462 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0306443600
書誌構造リンク Microdevices : physics and fabrication technologies <>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA20783334
本文言語コード 英語
著者標目リンク Thong, John T. L. <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/48
件名標目等 Semiconductors -- Testing
件名標目等 Electron beams -- Industrial applications
件名標目等 Scanning electron microscopes
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