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Lasers in microlithography : 2-3 March 1987, Santa Clara, California

Daniel J. Ehrlich, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- The Society, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 774). <BB00005520>
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Lasers in microlithography : 2-3 March 1987, Santa Clara, California

Daniel J. Ehrlich, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- The Society, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 774). <BB00005520>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001957505 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001957505
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lasers in microlithography : 2-3 March 1987, Santa Clara, California / Daniel J. Ehrlich, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : The Society , c1987
形態事項 v, 192 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892528095
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 774//a
注記 Errata slip inserted
注記 Label on cover: Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao, John Samuel Batchelder, chairs/editors
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA14030761
本文言語コード 英語
著者標目リンク Ehrlich, Daniel J. <>
著者標目リンク Tsao, Jeffrey Y. <>
著者標目リンク Batchelder, John Samuel <>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TA1673
分類標目 DC20:621.381/531
件名標目等 Lasers -- Industrial applications -- Congresses
件名標目等 Microlithography -- Congresses
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