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Integrated circuit metrology, inspection, and process control , 4-6 March 1987, Santa Clara, California /Kevin M. Monahan, chair/editor

sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 775). <BB00005444>
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Integrated circuit metrology, inspection, and process control , 4-6 March 1987, Santa Clara, California /Kevin M. Monahan, chair/editor

sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 775). <BB00005444>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001968809 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001968809
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Integrated circuit metrology, inspection, and process control , 4-6 March 1987, Santa Clara, California /Kevin M. Monahan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c1987
形態事項 vi, 329 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892528109
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 775//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA1312222X
本文言語コード 英語
著者標目リンク Monahan, Kevin M. <AU00093213>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Inspection -- Congresses
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