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Advances in resist technology and processing IV : 2-3 March 1987, Santa Clara, California
Murrae J. Bowden, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- SPIE, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 771). <BB00005510>
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Advances in resist technology and processing IV : 2-3 March 1987, Santa Clara, California
Murrae J. Bowden, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- SPIE, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 771). <BB00005510>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
保存書庫
425||S
001970839
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
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425||S
資料ID
001970839
状態
書架
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
Advances in resist technology and processing IV : 2-3 March 1987, Santa Clara, California / Murrae J. Bowden, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項
Bellingham, Wash., USA : SPIE , c1987
形態事項
vi, 367 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等
pbk.
ISBN
0892528060
書誌構造リンク
Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 771//a
注記
Includes bibliographies and index
学情ID
BA12853627
本文言語コード
英語
著者標目リンク
Bowden, M. J., 1943- <>
著者標目リンク
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目
LCC:TR940
分類標目
DC19:686.2/325
件名標目等
Photoresists -- Congresses
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