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Advances in resist technology and processing VI : 27 February-1 March, 1989, San Jose, California

Elsa Reichmanis, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering. -- International Society for Optical Engineering, 1989. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1086). <BB00056420>
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Advances in resist technology and processing VI : 27 February-1 March, 1989, San Jose, California

Elsa Reichmanis, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering. -- International Society for Optical Engineering, 1989. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 1086). <BB00056420>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001971332 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001971332
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Advances in resist technology and processing VI : 27 February-1 March, 1989, San Jose, California / Elsa Reichmanis, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : International Society for Optical Engineering , c1989
形態事項 viii, 620 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
ISBN 0819401218
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 1086//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA1268266X
本文言語コード 英語
著者標目リンク Reichmanis, Elsa, 1953- <>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
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