愛知工業大学附属図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

愛知工業大学附属図書館

検索結果一覧へ戻る

Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection : 2-3 April 1987, The Hague, The Netherlands

Harry L. Stover, Steven Wittekoek, chairs/editors ; organized by ANRT--Association nationale de la recherche technique ... [et al.] ; pbk.. -- SPIE-the International Society for Optical Engineering, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 811). <BB00005924>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection : 2-3 April 1987, The Hague, The Netherlands

Harry L. Stover, Steven Wittekoek, chairs/editors ; organized by ANRT--Association nationale de la recherche technique ... [et al.] ; pbk.. -- SPIE-the International Society for Optical Engineering, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 811). <BB00005924>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001970847 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001970847
状態 書架
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection : 2-3 April 1987, The Hague, The Netherlands / Harry L. Stover, Steven Wittekoek, chairs/editors ; organized by ANRT--Association nationale de la recherche technique ... [et al.]
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE-the International Society for Optical Engineering , c1987
形態事項 x, 211 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 089252846X
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 811//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA1243085X
本文言語コード 英語
著者標目リンク Stover, Harry L. <>
著者標目リンク Wittekoek, Steven <>
著者標目リンク Association nationale de la recherche technique <AU00082204>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
件名標目等 Microlithography -- Congresses
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)