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Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California

Scott A. MacDonald, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; pbk.. -- International Society for Optical Engineering, 1988. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 920). <BB00005967>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 保存書庫 425||S 001971043 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 保存書庫
請求記号 425||S
資料ID 001971043
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California / Scott A. MacDonald, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : International Society for Optical Engineering , 1988
形態事項 viii, 449 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892529555
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB00194398> v. 920//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07915350
本文言語コード 英語
著者標目リンク MacDonald, Scott A. <>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00049787>
分類標目 LCC:TR940
分類標目 DC19:686.2/325
件名標目等 Photoresists -- Congresses