愛知工業大学附属図書館

Laser microfabrication : thin film processes and lithography

edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao. -- Academic Press, 1989. <BB00058895>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549.9||E 001968148 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549.9||E
資料ID 001968148
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
出版・頒布事項 Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989
形態事項 xii, 587 p. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122334302
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07027712
本文言語コード 英語
著者標目リンク Ehrlich, Daniel J. <>
著者標目リンク Tsao, Jeffrey Y. <>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC19:621.36/6
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
件名標目等 Thin film devices -- Design and construction
件名標目等 Microlithography