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	Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 editor, G.W. Rubloff. -- American Institute of Physics, 1988. -- (AIP conference proceedings ; no. 167 . American Vacuum Society series ; 4). <BB00058862> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる目次・あらすじを見る詳細情報を見る書誌URL：

Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 editor, G.W. Rubloff. -- American Institute of Physics, 1988. -- (AIP conference proceedings ; no. 167 . American Vacuum Society series ; 4). <BB00058862> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる目次・あらすじを見る詳細情報を見る書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約
0001		図書館	電動集密洋書	549\|\|R	001969187	書架		0件


No.	0001
巻号
所蔵館	図書館
配置場所	電動集密洋書
請求記号	549\|\|R
資料ID	001969187
状態	書架
返却予定日
予約	0件

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目次・あらすじ

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書誌詳細

標題および責任表示

Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor, G.W. Rubloff

出版・頒布事項

New York : American Institute of Physics , 1988

形態事項

388 p. : ill. ; 25 cm

巻号情報

ISBN	0883183676

書誌構造リンク

AIP conference proceedings <BB00056231> no. 167 . American Vacuum Society series ; 4//ab

注記

DOE CONF-8711124

注記

Includes bibliographies and index

学情ID

BA06598037

本文言語コード

英語

著者標目リンク

Rubloff, G. W. (Gary W.) <>

件名標目等

Microelectronics -- Congresses

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