愛知工業大学附属図書館

Laser chemical processing for microelectronics

edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood. -- Cambridge University Press, 1989. -- (Cambridge studies in modern optics ; 7). <BB00059002>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549.7||I 001970375 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549.7||I
資料ID 001970375
状態 書架
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 Laser chemical processing for microelectronics / edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood
出版・頒布事項 Cambridge [Cambridgeshire] ; New York : Cambridge University Press , 1989
形態事項 172 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0521322545
書誌構造リンク Cambridge studies in modern optics <BB00200741> 7//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA05061582
本文言語コード 英語
著者標目リンク Ibbs, K. G. <>
著者標目リンク Osgood, R. M. <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Design and construction
件名標目等 Lasers -- Industrial applications