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愛知工業大学附属図書館
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Laser chemical processing for microelectronics
edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood. -- Cambridge University Press, 1989. -- (Cambridge studies in modern optics ; 7). <BB00059002>
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Laser chemical processing for microelectronics
edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood. -- Cambridge University Press, 1989. -- (Cambridge studies in modern optics ; 7). <BB00059002>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
電動集密洋書
549.7||I
001970375
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
電動集密洋書
請求記号
549.7||I
資料ID
001970375
状態
書架
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
Laser chemical processing for microelectronics / edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood
出版・頒布事項
Cambridge [Cambridgeshire] ; New York : Cambridge University Press , 1989
形態事項
172 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN
0521322545
書誌構造リンク
Cambridge studies in modern optics <BB00200741> 7//a
注記
Includes bibliographies and index
学情ID
BA05061582
本文言語コード
英語
著者標目リンク
Ibbs, K. G. <>
著者標目リンク
Osgood, R. M. <>
分類標目
LCC:TK7874
分類標目
DC19:621.381/73
件名標目等
Integrated circuits -- Design and construction
件名標目等
Lasers -- Industrial applications
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