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Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA

editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko. -- Materials Research Society, 1988. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 101). <BB00058703>
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Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA

editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko. -- Materials Research Society, 1988. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 101). <BB00058703>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549.9||L 001973569 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549.9||L
資料ID 001973569
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA / editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1988
形態事項 xv, 509 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837693
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB00177291> v. 101//a
注記 Includes bibliographies and indexes
学情ID BA05021227
本文言語コード 英語
著者標目リンク Ehrlich, Daniel J. <>
著者標目リンク Higashi, Gregg S. <>
著者標目リンク Oprysko, Modest Michael, 1957- <>
著者標目リンク Materials Research Society <AU00007719>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/7
件名標目等 Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
件名標目等 Lasers -- Industrial applications -- Congresses
件名標目等 Lasers in chemistry -- Congresses
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