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Rapid thermal processing : symposium held December 2-4, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Thomas O. Sedgwick, Thomas E. Seidel, Bor-Yeu Tsaur. -- Materials, Research Society, 1986. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 52). <BB00179968>
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Rapid thermal processing : symposium held December 2-4, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Thomas O. Sedgwick, Thomas E. Seidel, Bor-Yeu Tsaur. -- Materials, Research Society, 1986. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 52). <BB00179968>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549||R 002303642 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549||R
資料ID 002303642
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Rapid thermal processing : symposium held December 2-4, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, Thomas O. Sedgwick, Thomas E. Seidel, Bor-Yeu Tsaur
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials, Research Society , c1986
形態事項 xiv, 484 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837170
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB00177291> v. 52//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA03910504
本文言語コード 英語
著者標目リンク Sedgwick, Thomas O. <AU00031393>
著者標目リンク Seidel, Thomas E. <AU00031394>
著者標目リンク Tsaur, Bor-Yeu <AU00031392>
著者標目リンク Materials Research Society <AU00007719>
著者標目リンク Materials Research Society. Meeting <AU00035028> (1985 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Symposium on Rapid Thermal Processing <AU00031566> (1985 : Boston, Mass.)
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Heat treatment -- Congresses
件名標目等 Semiconductor doping -- Congresses
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