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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB00059025>
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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB00059025>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549.7||E 001950682 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549.7||E
資料ID 001950682
状態 書架
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
出版・頒布事項 Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341163
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB00002845> v. 16//b
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA01291241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00000578>
著者標目リンク Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Printed circuits
件名標目等 Lithography
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