愛知工業大学附属図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

愛知工業大学附属図書館

検索結果一覧へ戻る

Dry etching for microelectronics

edited by Ronald A. Powell. -- North-Holland, 1984. -- (Materials processing, theory and practices ; v. 4). <BB00006379>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

Dry etching for microelectronics

edited by Ronald A. Powell. -- North-Holland, 1984. -- (Materials processing, theory and practices ; v. 4). <BB00006379>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 電動集密洋書 549||P 001942713 書架 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 電動集密洋書
請求記号 549||P
資料ID 001942713
状態 書架
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
出版・頒布事項 Amsterdam ; Tokyo : North-Holland
出版・頒布事項 New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984
形態事項 xi, 299 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0444869050
書誌構造リンク Materials processing, theory and practices <> v. 4//a
注記 Bibliography: p. 223-294
注記 Includes index
学情ID BA00157673
著者標目リンク Powell, Ronald A. <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC:621.381/73
件名標目等 Semiconductors -- Etching
件名標目等 Plasma etching
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)