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愛知工業大学附属図書館
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シリコンマイクロ加工の基礎
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00147184>
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シリコンマイクロ加工の基礎
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00147184>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
2階
549.8||E
003157443
書架
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
2階
請求記号
549.8||E
資料ID
003157443
状態
書架
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
シリコンマイクロ加工の基礎 / M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳
シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
出版・頒布事項
東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京 , 2001.12
形態事項
xi, 431p ; 27cm
巻号情報
ISBN
4431709347
その他の標題
原タイトル:Silicon micromachining
注記
“Silicon micromachining"の翻訳
注記
参考文献: 各章末
学情ID
BA54870462
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
*Elwenspoek, M. (Miko), 1948- <>
著者標目リンク
Jansen, H. V. (Henri V.) <>
著者標目リンク
田畑, 修
タバタ, オサム <>
著者標目リンク
佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00058550>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
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